近日，毅达资本完成对半导体设备制造商上海众鸿电子科技有限公司（以下简称“上海众鸿”）的A轮投资。融资资金将主要用于产品研发、推进设备量产、业务扩展及市场营销等方面。
上海众鸿成立于2011年，是一家半导体制造设备研发商，专注于涂胶显影设备的研发攻关。公司主营产品包括自研涂胶显影设备、金属剥离设备、单片旋转式清洗设备等，业务覆盖半导体核心设备的多个领域，为客户提供多样化的解决方案和服务。截至目前，上海众鸿拥有各项专利80余项，被评为“上海市高新技术企业”、“上海市专精特新企业”、“临港新片区重点企业”等。
上海众鸿位于浦东临港新片区公司创始人、董事长兼总经理金浩天从事半导体集成电路设备行业迄今已15年，带领团队为韩国、日本、新加坡及中国台湾地区半导体制造客户提供设备技术服务，并将先进技术导入应用于实体技术升级。
2018年，上海众鸿成立自研攻关小组，基于此前15年的产业经验积累，开启自主研发涂胶显影设备之路。目前其自研设备已经成功通过客户验证，并成功获取客户正式订单。
上海众鸿自研涂胶显影设备ZHT-200近年来，为了满足不同客户的前道晶圆制造工艺要求，上海众鸿分别在多样性、功能性、部件选型等方面进行了差异化布局。
首先，功能性方面，众鸿的自研设备对不同尺寸的晶圆做到了友好兼容，如４寸和６寸、６寸和８寸、8寸和12寸兼容；其次，旗下产品的功能对客户不同的基底材质、不同的产品能做到很好地适配。以设备最关键的机械手臂为例，众鸿就自行开发、制造，并不断升级改良，同时也申请了不少的专利，可满足客户不同工艺需求的晶圆传送要求。
具体到产品矩阵，上海众鸿现已推出涂胶显影设备ZHT-200、涂胶显影设备ZHT-150、全自动金属剥离机ZHL-200、旋转式清洗设备ZHS-200等。以ZHT-200为例，通过涂胶显影单元、烘烤单元等配合，能够将芯片制程中需要的精细化图形在基底材料上显现出来，同时具有灵活组合的优势，可以满足客户不同工艺的需求；同时支持跟光刻机Inline、KRF工艺匹配，可提供高精度热板、高精度机台环境控制、高精度化学品控温系统，支持客户的OHT、EAP、FDC等系统；可完美对应8寸（含8寸以下）的半导体前道制程。ZHT-150产品具备高稳定性、高集成度、占地面积小、性能优良等特性，对LED、功率器件等小尺寸产品的客户非常适配。
千级洁净车间设备打样测试上海众鸿创始人、董事长兼总经理金浩天表示：“眼下，团队正在研发用于先进封装等领域的12寸设备，以及先进制程进程中所需要的专用机型。本次成功融资将有助于众鸿进一步扩大市场份额，提升自研产品竞争力，同时也为未来的发展注入新的活力。我们将以此为契机，继续秉承众鸿成为‘领先的半导体核心设备制造商’的经营理念，为客户提供更优质的产品和服务。”
毅达资本相关负责人表示：“半导体设备是毅达资本在半导体领域长期关注的赛道之一。上海众鸿所处的半导体核心工艺设备领域国产化替代需求较为强烈。其中，涂胶显影设备可应用于前道晶圆加工及后道先进封装，因技术门槛较高，目前国产化率处于较低水平。在国内晶圆加工产业越来越蓬勃的形势下，该设备未来市场空间巨大。众鸿具有先发优势，自研涂胶显影设备目前已成功实现量产，毅达资本希望未来能够发挥产业生态圈优势，助推众鸿国产自研设备全面打开市场，实现更大的突破。”
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